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加速度传感器技术原理
MEMS换能器(Transducer)可分为传感器(Sensor)和致动器(Actuator)两类。其中传感器会接受外界的传递的物理性 输入,通过感测器转换为电子信号,再较终转换为可用的信息,如加速度传感器、陀螺仪、压力传感器等。其主要感应方式是对一些微小的物理量的变化进行测量, 如电阻值、电容值、应力、形变、位移等,再通过电压信号来表示这些变化量。致动器则接受来自控制器的电子信号指令,做出其要求的反应动作,如光敏开关、MEMS显示器等。
目前的加速度传感器有多种实现方式,主要可分为压电式、电容式及热感应式三种,这三种技术各有其优缺点。以电容式3轴加速度计的技术原理为例。 电容式加速度计能够感测不同方向的加速度或振动等运动状况。其主要为利用硅的机械性质设计出的可移动机构,机构中主要包括两组硅梳齿(SILicon Fingers),一组固定,另一组随即运动物体移动;前者相当于固定的电极,后者的功能则是可移动电极。当可移动的梳齿产生了位移,就会随之产生与位移成比例电容值的改变。